マイクロスコープで高さ、厚みを測る方法

 

もっとも簡単な方法はマイクロスコープとデジタルインジケータと組み合わせる方法です。
レンズは、できる限り被写界深度が浅いものを選定します。 
上下動のメカニズムには、微調整機能が備わっていると、より高精度の測定が可能です。

 

厚み測定

 

1.厚み測定

条件としては、透明または半透明の薄膜やシートが基材に密着しているサンプルが測定対象となります。
右側のサンプルでは、透明な保護シートが製品に密着
しています。
シートが薄いため、600倍での観察を行いました。

 

厚み測定

基材(樹脂)に焦点を合わせて
インジケータの値をゼロにします。
シートの上面に焦点を合わせて
インジケータの値を読みます。
これが厚みになります。(107μm)

インジケーター

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.高さ測定

1画面で段差部が映し出せる対象物が測定できる条件
となります。
左写真のICの高さを測定します。
充分な高さがあったため、200倍での観察を実施しました。

 

高さ測定

基板に焦点を合わせて
インジケータの値をゼロにします。
ICの上面に焦点を合わせて
インジケータの値を読みます。
これが高さになります。(2.39mm)

弊社ではデジタルインジケータ付スタンド(ハイトゲージ)を2種類ご用意しております。
インジケータ付粗微動スタンド インジケータ付粗微動スタンド
インジケータ付粗微動スタンド
GRS-1C125XB
インジケータ付小型粗微動スタンド
GR-S6C125XB